高品質蒸汽鍋爐 保證半導體生產車間恒溫、恒濕、超潔凈的心臟設備

過去幾年，半導體產業風起云涌。中國半導體市場規模占全球比重持續提高。隨著5G、消費電子、汽車電子等下游產業的進一步興起，疊加全球半導體產業向大陸轉移，中國將持續成為全球更大和貿易更活躍的半導體市場。眾所周知，半導體產業與面板產業相似，都是重資產投入，設備投資占總投資規模的比例達到60%以上，其中一些關鍵的制程環節需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術，具有技術含量高、制造難度大、設備價值高等特點。此外，半導體產業發展現在還遇到一些新的問題，需要新的突破，比如環保問題。

半導體要在全年四季的不同氣候條件下生產，生產車間內部要求維持穩定的環境，特別是對于生產環境的溫度、濕度、空氣潔凈度等多個參數都提出了嚴格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環境系統的要求，由于半導體產品對靜電的敏感性和高濕度環境對其品質的影響，其對濕度的精度提出了更嚴格要求。工業蒸汽鍋爐作為其生產線的重要熱源設備，能否穩定高效運行對其工序品質造成直接影響。